明中叶以后，盛行等韵之学。北京衍法﹑山西五台﹑四川峨眉﹑河南伏牛﹑浙江普陀等山寺皆有韵主和尚，以唱韵开悟学僧，时称小悟门，与参禅之大悟门并列。安徽黄山僧普门﹑语拙﹑虚谷师承等韵之学，相继为韵主教授师。